等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
凈化原理
低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使物質轉變成或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得。作為環境污染處理領域中的一項具有強潛在優勢的高，等離子體受到了相關學科界的高度關注。
簡單判斷方法
現在，各傳媒上宣傳低溫等離子廢氣凈化的產品和技術很多，可這些產品的宣傳大部分都是在炒低溫等離子體概念。如何判斷是否是意義上的低溫等離子體技術？可以用下面兩個簡單的規則來判斷，即使你不懂低溫等離子體技術也能判斷出是真是假。
(1) 在廢氣凈化的通道上須充滿了低溫等離子體。這條規則判斷很簡單，只要用眼睛觀察一下處理通道是否充滿紫藍色的放電就可以直觀的了解是否是低溫等離子體了（需要注意的是不要將各種顏色的燈光當作電離子體放電）。如果在廢氣處理的通道上只零星的分布若干的放電點或線，則處理的效果是非常有限的，因為，大部分的(VOCs)氣體沒有進過低溫等離子體處理區域。
(2) 低溫等離子體處理系統須要有 的放電處理功率。通常需要在2～5瓦時/米3。即1000米3/時的風量需要處理的電功率為2KW～5KW。如果號稱1000米3/時的風量只需要幾十或幾百瓦的電功率，則較多也就是靜電(除塵)處理或局部處理而已。要想分解VOCs沒有 的能量是不可能的。
